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尼康FPD光刻本周尼康宣布推出支持中小型面板的新型FPD光刻系统FX-6AS。Nickon已经创建了最新的FPD光刻系统,用于制造用于最新和高清移动设备的高清有机发光二极管(OLED)面板和LCD面板。新闻稿解释说,为FX-6AS机器配备了新开发的投影镜头,以提供最高水平的分辨率、高对准精度和高吞吐量。
“FX-6AS采用了在现有型号中使用的i-line光源。这可以在不改变现有制造工艺的情况下大批量生产高清面板。FX-6AS采用新开发的投影镜头,可实现最高水平的分辨率、高对准精度和高吞吐量。FX-6AS采用了在现有型号中使用的i-line光源。这可以在不改变现有制造工艺的情况下大批量生产高清面板。”
–高分辨率:尼康开发了一种新的投影镜头,可实现更高的分辨率。FX-6AS具有由多个投影镜头组成的多镜头系统,实现了宽广的曝光视野和出色的效率。
对于电路图案的曝光,FX-6AS实现了二元掩模的1.2μm(L/S*)和相移掩模的1.1μm(L/S)的高分辨率。*L/S:线和空间
–使用与以前型号相同的光源:FX-6AS采用了已在现有型号中使用的i-line光源。这使得在不改变与曝光工艺相关的现有制造工艺的情况下生产高清面板成为可能。
–高重叠精度:通过使用减少像差的新型投影镜头,实现了高重叠精度。此外,减少操作过程中振动和温度影响的新机身旨在实现更高的对准标记测量精度*。这实现了±0.23μm的高对准精度。*用作位置对齐参考点的板上标记。
–高吞吐量:通过引入新的投影镜头、改进的舞台和增强的照明功率,FX-6AS实现了高吞吐量。使用二元掩模时,它提供每小时85个板的高吞吐量。
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