俄推出150纳米光刻机，性能相当于奔腾4水平

7月21日消息，据报道，俄罗斯绿城纳米技术中心 已成功研制出一台电子束光刻机原型机，设计标准为150纳米。该项目属于俄罗斯国家计划科学技术发展框架下的重点研发任务，代号为Progress ELL 150。150纳米制程大致对应20年前英特尔奔腾4的性能水平。据悉，该设备的两台原型机正在进行为期约四个月的综合性测试，随后将进入成像精度等工艺参数的验证阶段。其中一台原型机将被运往距绿城2000公里外的地点进行进一步测试。需要指出的是，俄罗斯半导体产业正面临多重困境，包括缺乏65纳米以下制程的工程人才、90纳米以下光刻胶依赖进口、精密激光干涉仪和温控系统等关键零部件短缺。